Physik Instrumente P-616NanoCube納米定位器
緊湊的并聯(lián)運(yùn)動壓電系統(tǒng)，用于納米定位和光纖對準(zhǔn)
平行運(yùn)動設(shè)計，在所有空間方向上都具有的剛度
即使在負(fù)載高達(dá)100 g的情況下，也能通過高共振頻率實(shí)現(xiàn)高動態(tài)運(yùn)動
單一安裝平臺，創(chuàng)新的產(chǎn)品設(shè)計可靈活使用。
市場上具有ID芯片功能的納米定位器
市場上小和輕的NanoCube，行程范圍為100 µm
圖像處理/穩(wěn)定化
納米定位具有很高的平整度和運(yùn)動平直度
電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進(jìn)行測量。它們保證了出色的運(yùn)動線性，長期穩(wěn)定性以及kHz范圍內(nèi)的帶寬。
自動配置和快速的組件更換
機(jī)械和控制器可以根據(jù)需要進(jìn)行組合，并可以快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲在機(jī)械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開控制器時，數(shù)字控制器的自動校準(zhǔn)功能都會使用此數(shù)據(jù)。
Physik Instrumente PICMA壓電執(zhí)行器，使用壽命長
的PICMA壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護(hù)它們免受潮濕和由于泄漏電流增加而引起的故障的影響。PICMA執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。已證明沒有任何故障的1000億次循環(huán)。
零游隙撓性導(dǎo)軌，導(dǎo)向精度高
撓性導(dǎo)板無維護(hù)，無摩擦和無磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力，并且擊和振動不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可在較寬的溫度范圍內(nèi)工作。
平行位置測量，在納米范圍內(nèi)具有很高的跟蹤精度
所有的自由度均以單個固定參考為基準(zhǔn)進(jìn)行測量。軸之間不需要的串?dāng)_可以實(shí)時（根據(jù)帶寬）得到主動補(bǔ)償（主動引導(dǎo)）。即使在動態(tài)操作中，也可以在納米范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高跟蹤精度。
應(yīng)用領(lǐng)域
光纖定位和對準(zhǔn)
掃描顯微鏡
2-光子聚合
納米技術(shù)與納米制造
光子學(xué)/集成光學(xué)
顯微操作
樣品定位
電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進(jìn)行測量。它們保證了出色的運(yùn)動線性，長期穩(wěn)定性以及kHz范圍內(nèi)的帶寬。

自動配置和快速的組件更換
機(jī)械和控制器可以根據(jù)需要進(jìn)行組合，并可以快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲在機(jī)械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開控制器時，數(shù)字控制器的自動校準(zhǔn)功能都會使用此數(shù)據(jù)。

適用于復(fù)雜的真空應(yīng)用
壓電系統(tǒng)中使用的所有組件都非常適合在真空中使用。無需潤滑劑或油脂即可運(yùn)行。不含聚合物的壓電系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)極低的除氣率。

Physik Instrumente PICMA壓電執(zhí)行器，使用壽命長
的PICMA壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護(hù)它們免受潮濕和由于泄漏電流增加而引起的故障的影響。PICMA執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。已證明沒有任何故障的1000億次循環(huán)。

零游隙撓性導(dǎo)軌，導(dǎo)向精度高
撓性導(dǎo)板無維護(hù)，無摩擦和無磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力，并且擊和振動不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可在較寬的溫度范圍內(nèi)工作。

通過并聯(lián)運(yùn)動學(xué)實(shí)現(xiàn)高動態(tài)多軸運(yùn)行
在并聯(lián)運(yùn)動多軸系統(tǒng)中，所有執(zhí)行器都作用在一個公共平臺上。小的慣性和所有軸的相同設(shè)計允許快速，動態(tài)且仍然的運(yùn)動。

三、Physik Instrumente產(chǎn)品分類
Physik Instrumente納米定位壓電彎曲平臺
Physik Instrumente微型舞臺
Physik Instrumente線性平臺
Physik Instrumente線性執(zhí)行器
Physik Instrumente旋轉(zhuǎn)臺
Physik Instrumentexy平臺
四、Physik Instrumente產(chǎn)品型號；
Physik Instrumente  L-505.021212F
Physik Instrumente  L-505.AP1
Physik Instrumente G-901.R3197
Physik Instrumente P-734.2CL
Physik Instrumente E-501,00  
Physik Instrumente E-503,00  
Physik Instrumente E-509,C3A,
Physik Instrumente P-561.3CD
Physik Instrumente L-611.90AD
Physik Instrumente P-563.3CD
Physik Instrumente E-727.3CD
Physik Instrumente P-561.3CD
Physik Instrumente E-727.3CDAP
Physik Instrumente C-887.522
Physik Instrumente Hexapod H-811.F2:
Physik Instrumente U-780.DLS
Physik Instrumente N-565.160
Physik Instrumente N-565.260

 Physik Instrumente納米定位器用于表面測量